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簡要描述:FR-Scanner-AIO-Mic-XY300 是一款整合自動薄膜厚度測繪系統(tǒng),用于全自動圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動X-Y載物臺提供適用尺寸 300mm x 300mm毫米的行程,通過真空固定在載臺上時進行精確測量。可依測量厚度和波長范圍應用需求可在在 200-1700nm 光譜范圍內(nèi)提供各種光學配置
產(chǎn)品分類
Product Category詳細介紹
產(chǎn)品簡介:
FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY300模塊化厚度測繪系統(tǒng)集成了光學、電子和機械模塊,可兼用于對無圖形和圖形薄膜(例如微圖形表面、粗糙表面)進行精確測量 。
將晶圓放置在真空吸盤上(晶圓尺寸直徑≤300mm)并配備反射率標準件。 由功能強大的光學模塊執(zhí)行測量,光斑尺寸小至幾微米。電動平臺提供XY方向 300 毫米的行程,在速度、精度和可重復性方面具有優(yōu)秀的性能
FR-Scanner-AIO-Mic-XY300提供了:
o 實時反射率光譜測量
o 薄膜厚度、光學特性、非均勻性測量、厚度測繪
o 使用集成的、USB 連接的高質(zhì)量彩色相機進行成像
o 測量參數(shù)廣泛統(tǒng)計數(shù)據(jù)
o 半自動圖案對準功能用于測量周期性圖形區(qū)域
o 不一樣的軟件功能,例如:Click2Move (螢幕點擊定位量測點)、比例尺
附件:
FR-AutoFocus:100mm 長線性軸,用于自動對焦,具有兩種操作模式:圖像對焦(對比度)/ 反射強度
Rotation Module:旋轉(zhuǎn)模塊電動平臺提供高的分辨率和精度
FR-FilterWheel:電動濾光輪模塊帶有可容納 12 個濾光片的插槽由計算機自動控制: 濾光片尺寸:直徑0.5英寸,最多6個過濾器(1英寸)
FR-AutoTurret:自動轉(zhuǎn)塔由計算機控制可容納 4 個物鏡:鏡頭切換速度約為 1.0-3.0 秒
Lenses:長工作距離 VIS/NIR 鏡頭: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X
反射式 UV/NIR 鏡頭: 10X, 15X, 25X, 40X
Pump:低噪音真空泵,2.5L/min,真空度-60kPa.
Chucks:6 英吋光掩模卡盤6 英吋帶參考片區(qū)域 ,多晶圓卡盤(100-300 毫米和不規(guī)則形狀片),包括參考區(qū)域和暗區(qū),用于自動基準
規(guī)格:
二維厚度圖:
3D厚度圖:
測量原理:
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